الحماية الكهروستاتيكية في إنتاج أشباه الموصلات
في عملية تصنيع أشباه الموصلات، من الضروري منع والسيطرة على الكهرباء الساكنة. وإذا لم يتم منع والسيطرة على الكهرباء الساكنة، فستحدث مشاكل مثل تلوث الجسيمات، وتلف أشباه الموصلات بسبب التفريغ الكهربائي والإغلاقات المتصلة بالمعدات. يتضمن برنامج منع ومراقبة الكهرباء الساكنة في عملية إنتاج أشباه الموصلات: التأريض، والمواد البدّرة الساكنة، وتحييد الهواء الأيونات المؤينة. من أجل تلبية المتطلبات التي جلبتها التنمية السريعة لصناعة أشباه الموصلات ، والمواد تبدد ثابت والمواطنين الجوية تتغير باستمرار أيضا.
ضرورة التحكم الثابت في إنتاج أشباه الموصلات
في مجال إنتاج أشباه الموصلات ، من المستحيل القضاء تماما على الآثار السلبية للكهرباء الساكنة. حتى مع الحماية الساكنة، من الصعب الحفاظ على مستوى عال من جودة المنتج والعائد. ومع ذلك، إذا كان هناك نقص في التحكم في الساكنة، وتلوث الجسيمات، وتلف التفريغ الكهربائي وفشل المعدات، وهذه المشاكل هي في تصنيع ركائز السيليكون والعبوات ضوئية، في غرفة نظيفة قبل أشباه الموصلات، وفي عمليات المصب بما في ذلك التجميع، والتغليف، والاختبار النهائي والشحن. قد يحدث في أي وقت، مما يؤثر بشكل خطير على جودة منتجات أشباه الموصلات.
أسلوب التحكم الثابت بأشباه الموصلات
في بيئة تصنيع أشباه الموصلات، سواء في غرفة نظيفة أمامية أو في الاختبار الخلفي، والتجمع والتغليف، وينبغي استخدام التأريض من الموصلات والمواد تبدد ثابت. يمنع التأريض الكهرباء الساكنة من أن يتم توليدها على الموصلات المعزولة والمواد التبددية الساكنة. إذا كانت هذه المواد تحمل الكهرباء الساكنة، فإنها يمكن أن تأخذ أيضا بعيدا الكهرباء الساكنة. كل المواد موصلة، بما في ذلك الموظفين والمعدات وأسطح المصنع (أرضيات، الجدران، والسقوف وأسطح العمل) والمنتجات، وينبغي أن يكون أسس موثوق بها. وينبغي فحص هذه المحطات الأرضية بانتظام. بعض الموصلات غير مُكدَّدَة عادة ما تكون مصادر تفريغ ثابتة.
المواد الثابتة تبديد التهم الثابتة مع الحفاظ على خصائص بعض المواد العازلة (مثل المرونة والمقاومة الكيميائية). إذا كانت تستند بشكل موثوق، فإنها لن تحتفظ تهمة ثابتة. في بعض التطبيقات (مثل أجهزة الكمبيوتر المكتبية أو مآخذ الاختبار)، يمكن لهذه المواد استبدال مواد الموصلات. في هذه التطبيقات، قد تكون متلامسة مع المنتجات المشحونة كهربائياً. يمكن للمقاومة العالية للمواد التبددية الساكنة (عادةً في نطاق 10^4 إلى 10^11 أوم) أن تبطئ عملية حركة الشحن لمنع أحداث تلف التفريغ الكهروستاتيكي. يجب فحص المواد الثابتة التبدد واختبارها بانتظام. العديد من هذه المواد غير متوافقة مع غرف نظيفة، وسوف تتغير خصائص تبديد ثابت مع مرور الوقت، لذلك يجب أن يتم اختيارها بشكل صحيح عند استخدامها.