طريقة التحكم في الجسيمات
تعد إدارة الجسيمات في مثل هذه البيئة المحيطة الكبيرة تحديًا كبيرًا ولها تأثير كبير على الإنتاجية. لذلك ، من الضروري إنتاج طرق موثوقة قابلة للتكرار لتحليل بيانات المنتج عبر الإنترنت وإصلاح العيوب المرتبطة بالعملية لشاشات LCD أكبر وأعلى جودة وبأسعار معقولة. هذا يعني أن الزجاج يجب أن يتم فحصه أثناء العمليات الحرجة في عملية التصنيع لضمان إزالة الجسيمات قبل اللوحة وتوصيل مادة LCD أخيرًا معًا.
قبل اكتمال العرض ، من الضروري التحقق من البيكسلات ، التي يتم تنفيذها بواسطة مستشعر LCD بعد تطبيق الطاقة لتحديد ما إذا كانت البيكسلات تعمل. في الاختبار ، إذا ظهرت بقعة سوداء ناتجة عن جزيئات مرئية تحت المجهر ، فيمكن عادة أن تغويز أو تتوقف عن طريق الليزر لحل المشكلة. ومع ذلك ، إذا كانت الجسيمات في الداخل ، بمجرد أن تكون مادة LCD محصورة بين الزجاج ، فلا يمكن إصلاحها. ما يمكنك القيام به هو تحديد مصدر التلوث بحيث يمكن إصلاحه قبل أن يتسبب في مزيد من الضرر. لحسن الحظ ، هناك فقط أربع أو خمس عمليات في عملية تصنيع الشاشة ، لذلك من السهل العثور على مصادر التلوث. قد يكون سبب ذلك عطل في معدات العمليات أو خطأ بشري أو نظافة.
لتحديد ما إذا كانت معدات العملية تنبعث منها الكثير من الجسيمات ، يستخدم مفتش العملية عداد جسيمات الليزر ، والذي يتم مراقبته أيضًا باستخدام جهاز مراقبة الهواء الطبيعي ، ويستخدم مرشح HEPA لإزالة تركيزات منخفضة من الملوثات الجزيئية المحمولة بالهواء من العملية أو المعدات . في بعض الشركات المصنعة للشاشات المتقدمة ، تحتوي جميع معدات التشغيل والأفران والمكانس الكهربائية على مرشحات HEPA يتم استبدالها كما هو مخطط لها ، كما أن البيئة المحيطة بكاملها بها أيضًا نظام للتحكم في تدفق الصفائح الهوائية. يتم الحفاظ على معدل تدفق الهواء عند 90 FPM (+/- 20 FPM) لأنه إذا كان تدفق الهواء أعلى من 110 FPM ، يتم إنشاء الاضطراب ، مما تسبب في دوامات الجسيمات في جميع أنحاء الغرفة. في مجال الحفر والتجزئة ، يتم إنتاج العديد من الجزيئات الزجاجية الكبيرة ، ويتم استخدام مكنسة كهربائية مع مرشح HEPA لتنظيف السطح الزجاجي وإزالة الجزيئات من الهواء وسطح الجهاز.
يجب على الموظفين اتباع نظام صارم لارتداء الملابس ؛ لا مكياج أو عطر بخاخ ؛ يجب تعقيم وتعبئة جميع المواد الاستهلاكية ، بما في ذلك الخرق والمماسح والمرشحات ، في أكياس مزدوجة قبل نقلها إلى المصنع. تغسل ملابس غرف الأبحاث مرة واحدة في الأسبوع ويتم إجراء اختبار الجسيمات قبل الاستخدام. تتم مراجعة موردي الملابس بانتظام للتعرف على المياه والمعدات وتقنيات الصيانة الوقائية ، وكذلك الجسيمات البيئية للتأكد من أنها تلبي معايير غرف الأبحاث. مراقبة بانتظام درجة الحرارة والرطوبة للمصنع. قم بتنظيف النظام بالكامل بانتظام واتخاذ تدابير صحية وإجراء الصيانة الوقائية ؛ أثناء عملية التنظيف ، قم بفرك معدات العملية بانتظام للقضاء على الجسيمات المفقودة ؛ رصد واستبدال المنظفات والمرشحات الكيميائية في الوقت المناسب.
من الواضح ، في القدرة على التحكم في الملوثات ، لا تزال صناعة العرض متأخرة عن صناعة أشباه الموصلات لمدة عقد ، ولا تزال السيطرة على الملوثات مشكلة. للتعامل مع التلوث في معالجة العملية ، يتمثل الحل في إزالة الخطر في أقرب وقت ممكن وتحسين تقنيات الفحص والإصلاح. في حين أن الشركات المصنعة للأجهزة ترغب في رؤية تطور تكنولوجيا التصنيع ، فإن عدد الشركات المصنعة للعرض كبير ومستقل ، لذلك كان من الصعب حتى الآن تطبيق العمليات المتقدمة. لذلك ، على المدى الطويل ، يجب وضع معيار موحد لمكافحة التلوث في صناعة العرض. على الرغم من أنه سيتعين على الشركات تغيير عملياتها الداخلية للوفاء بالمتطلبات القياسية ، إلا أن المعايير يمكن أن تؤدي في النهاية إلى خفض تكاليف المعدات. لذلك ، سوف يأتي معيار يوم واحد.