ضرر الكهرباء الساكنة في غرفة نظيفة
أشباه الموصلات وشاشات العرض المسطحة والإلكترونيات الضوئية وغيرها من الغرف النظيفة ، على الرغم من الكثير من العمل ، لا تزال المشاكل الكهروستاتيكية في الغرفة النظيفة تؤثر على سلامة الإنتاج وإنتاجية المنتج ، مما يؤثر على تكاليف التصنيع وفوائده ، مما يؤثر على جودة المنتج وموثوقيته.
1. قوة كولوم الكهرباء
تحت تأثير قوة Coulomb الإلكتروستاتيكية ، يؤدي الغبار والأوساخ الممتصة إلى تسرب المكونات أو تشكيل دائرة قصيرة ، مما يضعف الأداء ويقلل بشكل كبير من الإنتاجية والموثوقية. إذا كان حجم الجسيمات من الغبار> 100 ميكرون ، فإن عرض سلك الألمنيوم حوالي 100 ميكرون ، وسمك غشاء الأكسيد هو 50 ميكرون ، فمن المرجح أن يتم تخريد المنتج. الآن أصبح قطر السلك أدق ، وفيلم الأكسيد رقيق للغاية ، وجزيئات الغبار ذات حجم الجسيمات الصغير ستلحق الضرر بالمكونات. يحدث هذا في الغالب في عمليات تنظيف التآكل والليثوغرافيا الضوئية واللحام الموضعي والتعبئة.
2 ، التفريغ الكهربائي ESD
(1) فيلم أكسيد العازل للمكون مكسور ، والرصاص منفوخ أو الخط منفوخ. إذا كان جسم الإنسان يحمل 10KV (100PF) من الشحنة الساكنة ، يحدث ESD عند لمس الجهاز ، ويمكن تشكيل تيار تفريغ النبض يصل إلى 20A (10 ~ 100s) فورًا على الأرض ، ناهيك عن الكثافة العالية والغرامة قطر السلك ، رقيقة SiO2 الفيلم. Lsi ، Vlsi ، هو IC العام ، سوف تعاني MOS من أضرار.
بصفة عامة ، قوة مجال الجهد الصمود لجهاز عزل بوابة SiO2 هي E = (5-10) × 106V / cm. إذا كانت سماكة غشاء الجهاز SiO2 هي 1000 ، فإن الجهد الثابت من 50V-100V أو أكثر سوف يتم ضربه عند تطبيق دبوس إدخال الجهاز. يرتدي ، والجسم مع الكهرباء الساكنة أكثر من 50V ، 100V شائع جدا.
(2) تسبب الضوضاء والباعثة للتداخل الكهرومغناطيسي
تؤدي ESD إلى حصول EMI على قمة حادة قبل وبعد الموجة الكهرومغناطيسية ، وتكون الإشارة قوية ، أي ما يعادل بضع فولت من الطاقة في الدائرة. يمتد التردد إلى عدد قليل من MH2 أو مئات MH2 من الضوضاء القوية ، مما قد يتسبب في تلف المكون ، لا تعمل الأجهزة وأجهزة الاستشعار بشكل صحيح ، أو حتى تتسبب في تعطل الجهاز.
تسبب EMI الناتجة عن ESD أيضًا إدخال إشارة خطأ أو ظاهرة الإغلاق. في غرفة نظيفة ، يتم وضع صندوق EMIF للرقاقة على عربة فولاذية ، ويتم إرسال ESD للرقاقة إلى العربة من خلال المحث. العجلة معزولة ، وانتشار EMI يؤدي إلى تعطل معالج الرقاقات.
(3) صدمة كهربائية لجسم الإنسان
عندما يتجاوز ESD في جسم الإنسان أو ESD في جسم الإنسان الحد الحالي للصدمة الكهربائية في جسم الإنسان البالغ 5 مللي أمبير أو أكثر ، فإن الناس سوف يشعرون بمشاعر مختلفة من الإصابة ، مما يسبب قلقًا عاطفيًا للموظفين وأخطاء تشغيلية.
لقد أنجزت غرف الأبحاث مثل أشباه الموصلات وشاشات العرض المسطحة والإلكترونيات الضوئية الكثير من العمل ، لكن المشاكل الثابتة في غرف التنظيف لا تزال تؤثر على سلامة الإنتاج وإنتاجية المنتج ، وتؤثر على تكاليف التصنيع وفوائده ، وتؤثر على جودة المنتج وموثوقيته. وفقا للخبراء الصناعيين الأجانب ، فإن الخسائر السنوية للمنتجات بسبب الكهرباء الساكنة في الولايات المتحدة في المتوسط 8-33 ٪. يقدر بعض الناس أن الأضرار السنوية لصناعة الإلكترونيات في الولايات المتحدة تبلغ قيمتها 10 مليارات دولار أمريكي. في الثمانينيات ، قامت اليابان بتحليل المنتجات الإلكترونية الملغاة. الخسارة الناتجة عن حسابات ESD لـ 1/3. جميع أشباه الموصلات في الصين ، شاشات الكريستال السائل المسطحة ، الإلكترونيات الضوئية ، إلخ. كلها بدأت متأخرة ، لكن المخاطر الإلكتروستاتيكية تحدث أيضًا من وقت لآخر ، والعائد منخفض. البنوك ، وشركات الأوراق المالية ، وقواعد البيانات السرية ، ومراكز المراقبة ، وغرف إرسال الطاقة ، وما إلى ذلك ، في حالة حدوث ESD ، فمن السهل التسبب في حدوث تداخل ، وفقدان البيانات ، يصبح الموقف أكثر خطورة.